化工行业中的超纯水设备主要应用于电池行溶剂用水、化学分析、化工材料、产品清洗、物质的分离、浓缩、提纯，废物回收等场合，对于水质要求相对来说不是太高，纯水电导率从0.1uS/cm-20uS/cm就基本上能满足要求。化工行业用超纯水设备一般采用反渗透作预处理再配上电去离子（EDI）装置，这是目前制取超纯水最经济，化工行业用超纯水设备也是目前最环保的超纯水制备工艺，不需要用酸碱进行再生便可连续制取超纯水，化工行业用超纯水设备对环境没什么破坏性。其缺点在于初投资相对以上两种方式过于昂贵。
1、采用离子交换方式：
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→微孔过滤器→用水点
2、采用二级反渗透方式：
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透 →PH调节→中间水箱→二级反渗透（反渗透膜表面带正电荷）→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
3、采用EDI方式：
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透机→中间水箱→中间水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点
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